特殊氣體，簡稱特氣，具有以下分類及注意事項
（1）易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環(huán)境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
不銹鋼制管件是用來傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中最為嚴格，一般對于P級要求（×10 -9級）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材，對于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點，而且對凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù)，其Rmax≦0.7mm[3] 。
氣體管件在安裝時，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氣體泄漏風險。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當?shù)暮附佣练e碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過在接合時要避免因拴得太緊而導致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭。總的來說，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因為大多數(shù)的危險氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當?shù)慕宇^和閥件接合處。氯化氫
