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電子特氣的超高純度技能
電子特氣是運用于電子行業的一種氣體，這種氣體的純度要求很高。我們一起來看一下電子特氣的純度要求。
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關聯的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展，對電子特氣的純度提出了越來越高的需求，電子特氣的的凈化更加要害和重要。目前國內的超高純度凈化技能首要依靠進口，本身的技能水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行結尾凈化，使電子特氣純度由ppm級進步到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進工藝才能，下降產物缺點，進步制程的產值，滿意下一代半導體、微電子以及關聯高技能開展的需求。本項目將構成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技能，處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產化問題。
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