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電子特氣應用于半導體等高科技行業
電子特氣是一種純度很高的氣體，被應用在電子等高科技行業。那么具體的電子特氣與其他的氣體有什么不同呢？我們一起來看一下。
我公司的電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關聯的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護氣氛等等。
什么是電子氣體？ 所謂電子氣體，顧名思義就是電子產品制造上的氣體，它主要是指半導體制造用氣.按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。
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