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行業(yè)資訊
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增加脫水過程能有效提高氯化氫氣體的反應(yīng)轉(zhuǎn)化率
淄博言赫特種氣體有限公司主要經(jīng)營各種規(guī)格氯化氫產(chǎn)品，現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫氣體生產(chǎn)線,連續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫氣體,以及應(yīng)用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細化學(xué)品制造的2.8N(99.8%)化學(xué)級氯化氫氣體.產(chǎn)品性能先進,質(zhì)量穩(wěn)定,處于國內(nèi)領(lǐng)先地位,達到國際先進水平。
對氯化氫氣體氧化平衡的計算和分析,提出將反應(yīng)-脫水耦合技術(shù)應(yīng)用于氯化氫氣體氧化過程中,研究了反應(yīng)-脫水耦合的模擬工藝.結(jié)果表明,公司在氯化氫氣體連續(xù)氧化的過程中,增加脫水過程能有效提高氯化氫氣體的反應(yīng)轉(zhuǎn)化率.考察了在氧氣不過量情況下的多步脫水循環(huán)過程,結(jié)果顯示提高二次氧化反應(yīng)的溫度可明顯提高氯化氫氣體的轉(zhuǎn)化率,氯化氫的總轉(zhuǎn)化率可以達到49.3%,反應(yīng)混合氣中氧氣的體積含量低于0.2%.該混合氣可直接用于有機氯化過程。
我公司所生產(chǎn)的電子級氯化氫氣體于2003年10月通過北京市科委科技成果鑒定,獲得國家授權(quán)專利,具有自主知識產(chǎn)權(quán).經(jīng)國內(nèi)外多家半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術(shù)指標與國外同類產(chǎn)品相當(dāng)。 |
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