|
 |
行業資訊
鹽酸脫吸法制高純氯化氫的廣泛應用
高純氯化氫是集成電路生產中硅片蝕刻,鈍化和外延等工藝的重要材料,也可用于金屬冶煉,光導通訊和科學研究等領域。隨著大規模集成電路的發展,對氯化氫純度的要求越來越高,對其中雜質的含量要求越來越苛刻,尤其要求嚴格限制碳氫化合物和碳氧化合物的含量,以防止硅片加工過程中c的形成。國內外對于制備高純氯化氫的方法有很多。今天跟大家簡單介紹一下其中的鹽酸脫析法的工藝流程:
鹽酸脫析法。將濃鹽酸置于脫析塔中加熱脫析制氯化氫氣體。鹽酸脫吸法制高純氯化氫廣泛應用于PVC、氯丁二烯和高純鹽酸等的生產中。此種方法生產的氯化氫氣體純度在99.9% (質量分數)以上。
其工藝流程為:將濃鹽酸貯槽之濃酸用濃酸泵打至脫吸塔,脫吸塔下部連接再沸器,濃酸自塔頂噴淋而下,與來自再沸器的稀酸蒸氣逆流傳質傳熱,使氯化氫脫吸。所得之恒沸酸一部分補充再沸器的循環,一部分則經板式冷卻器后流入稀酸貯槽。由脫吸塔出來的含水蒸氣氯化氫氣體,進人石墨列管冷卻器用水冷卻后經過旋風分離器,分離出夾帶酸霧。然后,經過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水及二氧化碳,壓縮至1.2MPa,進行低溫精餾,再經低溫吸附除氮后壓縮至4.2MPa,裝瓶。
淄博迪嘉特種氣體有限公司是淄博地區一家專業的化學級氯化氫、電子級氯化氫、高純氯化氫與高純氯氣供應基地,公司經銷的氯化氫氣體產品質量好,價格公道,深受行業的好評,是最值得信賴的氯化氫供應基地。 |
|